Что такое ионно-ассистированное нанесение покрытий? Что из себя представляет этот метод?

Answer 1

Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом, - это процесс нанесения внешнего покрытия в вакуме при давлении ниже 0, 1 Па с использованием какого-либо источника тепловой энергии для испарения материала покрытия. Процесс приводит к конденсации или осаждению пара на сответствующим образом установленную подложку.
Обычной модификацией процесса является напуск газа в вакумную камеру в целях синтеза химического соединения в покрытии.
Использование ионного или электронного пучка либо плазмы для активизации нанесения покрытия или участия в этом процессе является также обычной модификацией этого метода. Применение контрольно-измерительных устройств для измерения в технологическом процессе оптических характеристик и толщины покрытия может быть особенностью этих процессов.
 
Ионно-ассистированное физическое осаждение из паровой фазы, полученной резистивным нагревом, использует резистивные нагреватели в сочетании с падающим ионным пучком (пучками) в целях получения контролируемого и однородного потока пара материала покрытия.
 
Это своего рода управляемый процесс осаждения испаряемого материала. Раньше применялись бесконтрольные методы физического осаждения, сейчас технологии значительно изменяются, но к сожалению за ними трудно следить - информации в общественном доступе на эту тему очень мало.