А какие длины волн используют в техпроцессах микропроцессоров, если ультрафиалетов. длина волны соизмерима с 180Нм ?

Но теперь есть и 22нм и 10нм
11 года назад от mm

1 ответ

0 голосов
В новейших используется EUV - "экстремальный ультрафиолет" с длиной волны 13 нм. А вобще в основном используются длина волны 197 нм и технологии фазового сдвига масок и корекции оптического приближения, позволяющие за счет многократного экспонирования с разными масками получать элементы намного меньше длины волны. (например, грубо описаны тут: )
11 года назад от Анна Шайхадарова

Связанные вопросы

3 ответа
Что думает альтернативная наука о сходимости ряда 1, -1,
10 года назад от oler postal
1 ответ
Почему иногда не ставится Was?
3 года назад от Алла Дорошенко
1 ответ
Какой вес гири в 17 кг будет на солнце, если е вес на Земле 170 ньютонн ?
9 года назад от Алексей