А какие длины волн используют в техпроцессах микропроцессоров, если ультрафиалетов. длина волны соизмерима с 180Нм ?

Но теперь есть и 22нм и 10нм
11 года назад от mm

1 ответ

0 голосов
В новейших используется EUV - "экстремальный ультрафиолет" с длиной волны 13 нм. А вобще в основном используются длина волны 197 нм и технологии фазового сдвига масок и корекции оптического приближения, позволяющие за счет многократного экспонирования с разными масками получать элементы намного меньше длины волны. (например, грубо описаны тут: )
11 года назад от Анна Шайхадарова

Связанные вопросы

1 ответ
Селекция это наука?
7 года назад от Дмитрий Рудковский
1 ответ
Холодильник LG. Каково предназначение кнопки на плате управления?
4 года назад от тырсмайстер
1 ответ
Не понимаю сути задания, можете объяснить как это делать?
2 года назад от Vvv