А какие длины волн используют в техпроцессах микропроцессоров, если ультрафиалетов. длина волны соизмерима с 180Нм ?

Question

Но теперь есть и 22нм и 10нм

Answer 1

В новейших используется EUV - "экстремальный ультрафиолет" с длиной волны 13 нм. А вобще в основном используются длина волны 197 нм и технологии фазового сдвига масок и корекции оптического приближения, позволяющие за счет многократного экспонирования с разными масками получать элементы намного меньше длины волны. (например, грубо описаны тут: )