Техпроцессы микрочипов. Как с помощью DUV смогли делать чипы на 65 нм техпроцессе и ниже (45, 32, 22, 14) ?

Question

Правильно ли я понял из описаний, что до 2019 использовалась технология глубокого ультрафиолета (DUV) , с длиной волны 198 нм и лазером как источником?
Я понимаю как DUV вытачивали Pentium 4 (техпроцесс 180 нм) , примерно понимаю как получилось с помощью DUV выточить Core Duo (техпроцесс 65 нм) , но как получилось создать Core i9 на 14 нм техпроцессе, когда длина волны в 14 раз больше ширины выточки?
Правда с такой разницей понятен процент брака с каждой пласти

Answer 1

С помощью иммерсионной литографии (в жидкости с высоким преломлением) .
Использованием множества засвечиваний через разные маски, заране рассчитав дифракционную картину, контрастный форезист и ещё много разных ухищрений.