Какая максимальная толщина пленки допустима для микросхемы чтобы называть е тонкопленочной? Инете нет ничего конкретного

Question

В большинстве пишут либо 1, либо 2 микрометра
Еще видел, пишут до 3 микрометров
Думаю если еще попытаться поискать, там найдется и до 5 микрометров
А на википедии даже инфы нету про толщину

Answer 1

Максимальная толщина пленки для микросхемы, чтобы называть е тонкопленочной, в большинстве случаев составляет от 1 до 3 микрометров, хотя в некоторых случаях может достигать и до 5 микрометров.

Answer 2

Плёночные и гибридные ИМС, технология их изготовления. ›29_5384_plenochnie-i-gibridnie-ims-… Принято различать ИМС тонкоплёночные, у которых толщина плёнок не боле 2 мкм и толстоплёночные, у которых толщина плёнок достигает 10 – 70 мкм. . Супер – бета транзистор. В микросхемах иногда делают транзисторы с таким названием. У них база имет толщину всего лишь 0, 2 – 0, 3 мкм и за счёт этого. Читать ещё